電子級多晶硅還原爐鐘罩自動清洗系統(tǒng)成功問世

    時間:2017-02-27 17:39:44作者:LeeZhou來源:德高潔清潔設備分享到:QQ空間新浪微博騰訊微博人人網(wǎng)微信

    多晶硅是用工業(yè)硅通過化學、物理途徑提純制得,多晶硅主要用于生產(chǎn)單晶硅和衛(wèi)星太陽能電池。單晶硅即硅半導體是多晶硅的衍生產(chǎn)品,是制造繼承電路和電子元件的優(yōu)質(zhì)材料,被廣泛應用于電子工業(yè)中。

    還原爐沉積多晶硅是間歇操作,一個運行周期內(nèi),硅棒不斷長大,一個運行周期結束后打開鐘罩收割硅棒。但在運行期內(nèi),基盤及鐘罩表面均會產(chǎn)生一層土黃色粉末,其主要成分是無定形硅。在收割硅棒后,需要進行基盤和鐘罩的清理,再裝硅芯進行下一個周期的化學氣相沉積。
     
    多晶硅硅棒

    還原爐鐘罩污染物易造成內(nèi)表面熱量反射減少,使生產(chǎn)能耗增加;電極周圍污染物降低了點擊的絕緣而導致運行過程中接地故障、倒棒等生產(chǎn)事故。而用于電子行業(yè)的多晶硅對產(chǎn)品質(zhì)量純凈度的控制要求更高,

    隨著我國半導體工業(yè)發(fā)展,對多晶硅純度要求越來越高,還原爐沉積環(huán)境的潔凈度就顯得特別關鍵,任何顆粒性雜質(zhì)、油脂等物質(zhì)余留在爐內(nèi),都會對產(chǎn)品質(zhì)量造成影響。那么,如何清理能方便快捷,同時效果更佳?

    多晶硅還原爐清洗系統(tǒng)始于2009年,國內(nèi)第一家研發(fā)設計制造并獲得實用新型專利是北京德高潔清潔設備有限公司,該公司多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)覆蓋了國內(nèi)多家多晶硅生產(chǎn)企業(yè)。早期有高壓清洗、化學溶劑低壓清洗、機械拋光等,但大多釆用堿液中壓清洗,這些清洗方式不僅不能將鐘罩清洗干凈,還會損傷表面鍍銀的還原爐鐘罩,為攻克這一難題,一款全新的用于電子級的多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)應運而生。

    電子級多晶硅還原爐鐘罩自動清洗系統(tǒng)特點:

    1、多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)以水為動力,以水力自驅(qū)動三維洗罐器為噴頭,形成360° 3D形式的網(wǎng)狀噴射來完成爐筒內(nèi)部表面的水力掃射。

    2、采用可以旋轉(zhuǎn)和升降的清洗吹干執(zhí)行機構,根據(jù)還原爐每個視孔鏡相對原點的相對位置進行準確定位?勺詣忧袚Q不同清洗液及吹干,通過控制系統(tǒng)可對清洗、吹干時間等進行調(diào)整。清洗時只需一鍵操作即可,操作簡單方便。

    3、根據(jù)還原爐底部法蘭的結構特設計升級后的清洗工作臺,不僅可以滿足對內(nèi)壁和視孔鏡的清洗,同時也滿足了底部法蘭的清洗?蓪崿F(xiàn)對法蘭內(nèi)邊緣的清洗,保證整個法蘭底部都被清洗液覆蓋,并清洗、吹干。

    4、在整個還原爐的清洗過程中,清洗、干燥中筒內(nèi)形成微負壓狀態(tài),防止清洗外溢,同時將底座與筒體下法蘭處的污染物等一并吹掃,通過排污管排出,從而保證了整個過程不會對潔凈區(qū)造成污染。
     
    多晶硅還原爐鐘罩清洗前后對比

    經(jīng)過實際應用,多晶硅還原爐清洗系統(tǒng)整套系統(tǒng)可實現(xiàn)全自動化清洗操作,在一個工作平臺上,一次吊裝可依次實現(xiàn)自動清洗烘干全部功能,完全實現(xiàn)無死角清洗,同時具有完善的聯(lián)鎖和保護功能。

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